/template/pc/skin/img/img/icon/icon_cilcle.png?t=1611310209 新能源、新材料
反应精馏制电子级氯硅烷

产品及应用领域概述:硅烷,分子式为SiH4,沸点-111.9℃;常温下为无色气体,对氧气和水敏感。溶于水,几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。

硅烷目前主要用途为:制造高纯度的硅,广泛应用于光伏、新能源、半导体等行业。

工艺及技术优势:

目前硅烷生产方式主要有:氟化铝钠法、硅镁合金法和氯硅烷歧化法。技术均源自国外,国外的氯硅烷歧化技术存在一定缺陷,体现在设备复杂,流程冗长,能耗较高上。

反应精馏制硅烷工艺,以纯度为9N的三氯氢硅为原料,通过负载高效催化剂的反应精馏塔,硅烷提纯塔和四氯化硅分离塔制得合格的硅烷产品。

亮点:

1.设备投资少,在一台设备内实现歧化反应。

2.反应流程短,能耗较低。

3.通过隔壁精馏和反应精馏去除产品中杂质,纯度可达电子气水平以上。

4.与氢化工艺联用,可实现体系的闭路循环。