反应精馏制电子级氯硅烷
产品及应用领域概述:硅烷,分子式为SiH4,沸点-111.9℃;常温下为无色气体,对氧气和水敏感。溶于水,几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。
硅烷目前主要用途为:制造高纯度的硅,广泛应用于光伏、新能源、半导体等行业。
工艺及技术优势:
目前硅烷生产方式主要有:氟化铝钠法、硅镁合金法和氯硅烷歧化法。技术均源自国外,国外的氯硅烷歧化技术存在一定缺陷,体现在设备复杂,流程冗长,能耗较高上。
反应精馏制硅烷工艺,以纯度为9N的三氯氢硅为原料,通过负载高效催化剂的反应精馏塔,硅烷提纯塔和四氯化硅分离塔制得合格的硅烷产品。
亮点:
1.设备投资少,在一台设备内实现歧化反应。
2.反应流程短,能耗较低。
3.通过隔壁精馏和反应精馏去除产品中杂质,纯度可达电子气水平以上。
4.与氢化工艺联用,可实现体系的闭路循环。